海乾半导体可为客户提供外延流片服务,通过流片(外延片)表征数据提供分析服务,提供优化建议。
海乾半导体拥有碳化硅晶片普通RCA清洗至单片双面精细化清洗全流程的清洗线,使用自研清洗技术清洗完成的晶片(particle<1c㎡,Metallic element<1E11)可满足外延、器件制造等应用场景。
海乾半导体自有完整的碳化硅外延片检测线,能为客户提供全面、精准、可靠的检测数据和报告。可检测范围包括但不限于碳化硅外延层厚度、外延层载流子浓度、外延层表面粗糙度、外延层缺陷密度、晶片平坦度、晶片表面金属残留检测。