海乾半导体技术团队依靠多年的外延工艺经验和现阶段的技术开发,不断优化和迭代自有碳化硅外延技术,同时针对不同厂家的衬底进行开发,在不同厂家的衬底进行的外延生长均能实现低缺陷密度,为器件的可靠性提供有力的保障。
海乾半导体技术团队经过一系列的工艺优化和设备改造升级,碳化硅外延片的外延层厚度不均匀性可<0.5%,外延层载流子浓度不均匀性可<1.5%。
除了常规的量测和控制方法外,海乾半导体增加特殊管控方法,确保碳化硅外延片不会因外延材料质量异常导致器件失效,该技术属于海乾技术团队独创。
海乾半导体外延片生产各个工艺流程均为自主开发,在实现高良率同时自主可控,不存在被卡控问题。
海乾半导体的晶片缺陷扫描检测设备已经采用双激光扫描技术,除了精准检测晶体表面的形貌缺陷外,对于材料内部的晶格缺陷也能精确扫描和检测。